في صناعة أشباه الموصلات، تشتهر Exyte بغرفها النظيفة وبيئاتها الخاضعة للرقابة. ولكن في بعض الأحيان لا تكفي النظافة. فأحيانًا يحتاج العملاء إلى غرفة لا يمكن حتى اختراقها بالإشعاع الكهرومغناطيسي. هذا هو المكان الذي يعمل فيه الخبراء في Exyte Technology. وتساعد نتيجة إبداعهم وجهودهم في تقليص العقد التكنولوجية لأشباه الموصلات إلى أقل من خمسة نانومترات. وهذا سيجعل الأجهزة الإلكترونية أكثر قوة وصغرًا.
يمكن أن يكون الصندوق الأبيض الذي يقف في قاعة الإنتاج في رينينجن، وهي بلدة تقع خارج شتوتغارت، أي شيء. ثلاجة كبيرة الحجم؟ وحدة محطة فضائية؟ كمبيوتر قديم؟ ليس بالضبط.
يتم تصنيع أشباه الموصلات في طبقات متعددة يتم تغليفها وتعريضها وحفرها عدة مرات. الأساس هو الرقاقة: قرص مستدير ومسطح مصنوع من السيليكون. نظرًا لأن أشباه الموصلات حساسة للغاية وأصبحت صغيرة جدًا لدرجة أنها تقاس بالنانومتر (النانومتر هو جزء من مليون جزء من المليمتر، ويبلغ سمك شعرة الإنسان ما بين 50,000 و100,000 نانومتر)، يجب أن تكون الرقاقة خالية من العيوب. ويوضح فابيان أنكلي، مدير المنتجات التقنية في Exentec، قائلاً: "حتى ذرة غبار واحدة يمكن أن تعطل عمليات الإنتاج بأكملها".
الغرفة النظيفة داخل الغرفة النظيفة
"إنها تقريباً الغرفة الوحيدة من نوعها في السوق حتى الآن."
توجد غرفة تفريغ إضافية داخل غرفة التدريع. ويتم الحفاظ على ذلك حتى عندما يتم إدخال الرقائق بواسطة الروبوتات. "ربما كان هذا هو التحدي الأكبر. كيف نحافظ على التفريغ ونحافظ على الإشعاع الكهرومغناطيسي عندما يدخل شيء ما إلى الغرفة"، يتساءل شتيفن كونله، المصمم الميكانيكي في Exentec. لهذا الغرض، طور المهندسون في رينينجن واجهات خاصة متصلة بالغرفة. "إنها بشكل أو بآخر الغرفة الوحيدة من نوعها في السوق حتى الآن."
قادرة على الإنتاج المتسلسل
هناك ميزة أخرى لحجرة Exyte مقارنةً بأنظمة المجهر الإلكتروني الماسح الأخرى وهي أنها توفر الكثير من المساحة. "لا تتطلب غرفتنا في الحقيقة سوى المساحة التي يحتاجها المجهر الإلكتروني. وهذا يوفر على العميل المساحة وبالتالي المال". وبالاستفادة من هذه الميزة الرائدة، بدأت Exyte في الإنتاج التسلسلي للحجرة.
