W branży półprzewodników Exyte słynie z czystych pomieszczeń i kontrolowanych środowisk. Czasami jednak czystość nie wystarcza. Czasami klienci wymagają pomieszczenia, które nie może być nawet penetrowane przez promieniowanie elektromagnetyczne. W takich sytuacjach do pracy przystępują eksperci z Exyte Technology. Rezultatem ich kreatywności i wysiłków jest zmniejszenie węzłów technologicznych półprzewodników do mniej niż pięciu nanometrów. Dzięki temu urządzenia elektroniczne będą jeszcze bardziej wydajne i kompaktowe.

Białe pudełko stojące w hali produkcyjnej w Renningen, mieście na obrzeżach Stuttgartu, może być wszystkim. Przerośniętą lodówką? Modułem stacji kosmicznej? Starożytnym komputerem? Nie do końca.

Aby wyświetlić film, zaakceptuj marketingowe pliki cookie.

Akceptuj pliki cookie

Dzięki tej "komorze ekranującej zakłócenia elektromagnetyczne" do zastosowań w skaningowym mikroskopie elektronowym (tak, to długa nazwa, od teraz nazywajmy ją po prostu komorą), klient Exyte może teraz produkować doskonałe półprzewodniki, które są jeszcze mniejsze, szybsze i bardziej wydajne. Firma Exyte opracowała komorę wspólnie z klientem, od wizji do idealnego rozwiązania.

Półprzewodniki są produkowane w wielu warstwach, które są wielokrotnie powlekane, naświetlane i wytrawiane. Podstawą jest wafel: okrągły, płaski dysk wykonany z krzemu. Ponieważ półprzewodniki są niezwykle czułe i stały się tak małe, że mierzy się je w nanometrach (nanometr to milionowa część milimetra, ludzki włos ma grubość od 50 000 do 100 000 nanometrów), wafel musi być nieskazitelny. "Nawet drobina kurzu może zakłócić cały proces produkcyjny" - wyjaśnia Fabian Ankele, Technical Product Manager w Exyte Technology.

Gloved hand holding a semiconductor wafer, used in microchip and electronic component manufacturing, with precise lines visible on its reflective surface.
Dzięki tej "komorze ekranującej zakłócenia elektromagnetyczne" do zastosowań w skaningowym mikroskopie elektronowym (tak, to długa nazwa, od teraz nazywajmy ją po prostu komorą), klient Exyte może teraz produkować doskonałe półprzewodniki, które są jeszcze mniejsze, szybsze i bardziej wydajne. Firma Exyte opracowała komorę wspólnie z klientem, od wizji do idealnego rozwiązania.

Półprzewodniki są produkowane w wielu warstwach, które są wielokrotnie powlekane, naświetlane i wytrawiane. Podstawą jest wafel: okrągły, płaski dysk wykonany z krzemu. Ponieważ półprzewodniki są niezwykle czułe i stały się tak małe, że mierzy się je w nanometrach (nanometr to milionowa część milimetra, ludzki włos ma grubość od 50 000 do 100 000 nanometrów), wafel musi być nieskazitelny. "Nawet drobina kurzu może zakłócić cały proces produkcyjny" - wyjaśnia Fabian Ankele, Technical Product Manager w Exyte Technology.
Fabian Ankele smiling in a high-tech industrial setting, wearing glasses, a patterned shirt, and sporting a long red beard, standing between two metal frames.

Pomieszczenie czyste w pomieszczeniu czystym

A jak wykryć tak małe zanieczyszczenia lub wady produkcyjne? Za pomocą mikroskopu. Jednak w zakresie nano szkła powiększające nie są już pomocne. Mikroskop elektronowy wykorzystuje wiązkę elektronów do skanowania powierzchni i wykrywania wszelkich nieprawidłowości. Ale podobnie jak w przypadku płytek, mikroskop elektronowy jest niezwykle czuły. Potrzebuje kontrolowanego środowiska, w którym jego promienie nie są odchylane ani zakłócane przez nic. Komora Exyte dokładnie to zapewnia. Do środka nie dostaje się nic, co nie powinno się tam znaleźć. Nawet sygnały akustyczne czy pola magnetyczne. Komora jest, że tak powiem, pomieszczeniem czystym w pomieszczeniu czystym. Nie może być bardziej czysta.
"Jest to jak dotąd jedyna tego typu komora na rynku".

"Jest to jak dotąd jedyna tego typu komora na rynku".

Wewnątrz komory ekranującej znajduje się dodatkowa komora próżniowa. Jest ona utrzymywana nawet wtedy, gdy wafle są wkładane przez roboty. "To było chyba największe wyzwanie. Jak utrzymać próżnię i utrzymać promieniowanie elektromagnetyczne na zewnątrz, gdy coś wchodzi do komory?" - pyta Steffen Kühnle, projektant mechanik w Exyte Technology. W tym celu inżynierowie z Renningen opracowali specjalne interfejsy, które są połączone z komorą. "Jest to jak dotąd jedyna tego typu komora na rynku".


A gloved hand cleans a surface under UV light, revealing contamination, a process used to maintain cleanliness in controlled environments such as pharmaceuticals and electronics.

Zdolność do produkcji seryjnej


Kolejną zaletą komory Exyte w porównaniu z innymi systemami skaningowego mikroskopu elektronowego jest oszczędność miejsca. "Nasza komora naprawdę wymaga tylko tyle miejsca, ile potrzebuje mikroskop elektronowy. Dzięki temu klient oszczędza miejsce, a tym samym pieniądze" - mówi Ankele. Korzystając z tej przewagi, Exyte rozpoczęła seryjną produkcję komory.
Chcesz budować z nami lepszą przyszłość?

Chcesz budować z nami lepszą przyszłość?

Oferujemy szeroką gamę ekscytujących projektów, w których możesz osiągnąć postęp i odcisnąć swoje piętno.
Złóż wniosek tutaj