Čisté prostory fungují jako přísně regulovaná výrobní prostředí, v nichž jsou průběžně řízeny proudění vzduchu, teplota, vlhkost a koncentrace částic.

Čistá místnost jako přesný systém


Čistá místnost pro výrobu polovodičů je často popisována jako místnost. V praxi však funguje spíše jako obrovský stroj o velikosti továrny.

Vzduch je přiváděn stropními systémy navrženými pro rovnoměrný průtok a kontrolu částic. Tlakové gradienty jsou nastaveny tak, aby chránily nejcitlivější procesní oblasti. Teplo z nástrojů je vyvažováno požadavky na proudění vzduchu a vlhkost, které mohou zahrnovat rosné body až minus 50 stupňů Celsia. Stabilita teploty vzduchu dosahuje plus nebo minus 0,001 Kelvina, přičemž vlhkost je regulována s přesností na desetiny procenta.

Společnost Exyte vnáší do tohoto úkolu více než padesát let zkušeností s čistými prostory a řízenými prostředími. Tyto prostory nejsou navrhovány jako pouhé architektonické skořápky, ale jako výrobní systémy, které musí nepřetržitě fungovat napříč několika technologickými generacemi.
Ultra-pure water treatment system used in semiconductor manufacturing facility infrastructure.

Výroba polovodičů se opírá o rozsáhlé systémy technických médií, včetně ultračisté vody, speciálních plynů, procesních chemikálií a infrastruktury pro zpracování odpadu.

Systémy, na nichž je tento proces založen


Kromě samotných nástrojů závisí výroba polovodičů na takzvaných kritických subsystémech. Jedná se o systémy, které dodávají to, co proces potřebuje, a bezpečně odstraňují to, co proces produkuje.

Patří mezi ně dodávky vysoce čistých chemikálií a speciálních plynů, odvod a úprava vedlejších produktů a infrastruktura, která zabraňuje křížové kontaminaci nebo neplánovanému úniku. Pokud tyto systémy selžou nebo dojde k odchylkám v jejich fungování, výroba se zastaví nebo dojde ke ztrátě výtěžnosti.

V typické výrobní hale to znamená desítky tisíc fyzických a funkčních propojení. S až 2 000 zařízeními v areálu a desítkami rozhraní na jedno zařízení musí závod koordinovat více než 100 000 jednotlivých přívodních a odvodních bodů pro elektřinu, plyny, chemikálie, vodu, odpadní plyny a data.

Společnost Exyte navrhuje tyto subsystémy jako součást celkového závodu, nikoli jako izolované doplňky. Prostřednictvím své integrované dceřiné společnosti Exentec dodává společnost také klíčové technologie, které se přímo používají ve výrobním závodě, včetně produktů pro čisté prostory, vzduchotechnických jednotek, odtahových systémů, systémů pro odstraňování plynů, skidů a služeb instalace na místě pro mechanické, elektrické a procesní systémy.

Velká část této infrastruktury je během provozu neviditelná. Její úspěch se měří podle toho, jak spolehlivě funguje.

Společnost Exyte realizuje projekty v oblasti polovodičových zařízení prostřednictvím integrovaného přístupu, který zahrnuje projektování, řízení výstavby, montáž, uvedení do provozu a kvalifikaci.

Integrace v rámci celého závodu


Výstavba továrny na polovodiče není pouhým montážním úkolem. Jedná se o jeden z nejkomplexnějších průmyslových projektů současnosti. Je to výzva v oblasti integrace. Každé propojení je součástí úzce provázané sítě, což znamená, že samotná továrna funguje jako jeden vysoce komplexní systém.

V tomto smyslu není továrna pouze budovou, v níž jsou umístěny výrobní nástroje, ale sama o sobě představuje sofistikovaný stroj. Stroj, který musí fungovat jako celek již od prvního dne.

Rozsah služeb společnosti Exyte zahrnuje poradenství a plánování, inženýrství a návrh, řízení projektů a výstavby, nákup, instalaci a uvedení do provozu. To zahrnuje čisté prostory, vybavení výrobních zařízení, rozvody procesních systémů, elektrickou infrastrukturu, rozhraní pro automatizaci výroby a instalaci výrobních zařízení.

Díky dosavadním zkušenostem s uvedením do provozu více než čtyř milionů čtverečních metrů výrobních prostor pro polovodiče po celém světě a díky desetiletím přispívání k rozvoji moderní mikroelektronické infrastruktury se tento integrovaný přístup osvědčil jako prostředek ke snížení rizika právě v těch oblastech, kde jsou zpoždění nejnákladnější.
Výroba mimo závod

Výroba mimo závod

Přístup společnosti Exyte v oblasti externí výroby (OSM) umožňuje předvídatelnější realizaci komplexních zařízení díky modularizaci, standardizaci a industrializovanému provedení. Zjistěte, jak OSM podporuje zrychlenou realizaci projektů v oblastech polovodičů, biofarmacie a přírodních věd, baterií a datových center.