Accepter venligst marketingcookies for at se videoen.

Accepter cookies
Gloved hand holding a semiconductor wafer, used in microchip and electronic component manufacturing, with precise lines visible on its reflective surface.
Takket være dette "kammer til afskærmning af elektromagnetisk interferens" til scanning-elektronmikroskop-applikationer (ja, det er et langt navn, lad os bare kalde det et kammer fra nu af) kan en Exyte-kunde nu producere perfekte halvledere, der er endnu mindre, hurtigere og mere effektive. Exyte udviklede kammeret sammen med kunden, fra vision til perfekt løsning.

Halvledere fremstilles i flere lag, som er belagt, eksponeret og ætset flere gange. Fundamentet er en wafer: en rund, flad skive lavet af silicium. Da halvledere er ekstremt følsomme og er blevet så små, at de måles i nanometer (en nanometer er den millionte del af en millimeter, et menneskehår er mellem 50.000 og 100.000 nanometer tykt), skal waferen være fejlfri. "Selv et støvkorn kan forstyrre hele produktionsprocesser", forklarer Fabian Ankele, teknisk produktchef for Exyte Technology.
Fabian Ankele smiling in a high-tech industrial setting, wearing glasses, a patterned shirt, and sporting a long red beard, standing between two metal frames.

Det rene rum i det rene rum

Og hvordan opdager man så små forureninger eller produktionsfejl? Med et mikroskop. Men i nanoområdet er forstørrelsesglas ikke længere en hjælp. Du har brug for et elektronmikroskop. Et elektronmikroskop bruger en stråle af elektroner til at scanne en overflade og opdage eventuelle uregelmæssigheder. Men ligesom wafere er et elektronmikroskop ekstremt følsomt. Det har brug for et kontrolleret miljø, hvor strålerne ikke afbøjes eller afbrydes af noget. Og Exytes kammer giver præcis det. Der kommer ikke noget ind, som ikke burde være der. Ikke engang akustiske signaler eller magnetfelter. Kammeret er så at sige renrummet i renrummet. Det kunne næsten ikke være renere.
"Det er mere eller mindre det eneste kammer af sin slags på markedet indtil videre."

"Det er mere eller mindre det eneste kammer af sin slags på markedet indtil videre."

Der er et ekstra vakuumkammer inde i afskærmningskammeret. Det opretholdes, selv når waferne indsættes af robotter. "Det var måske den største udfordring. Hvordan opretholder vi vakuummet og holder den elektromagnetiske stråling ude, når der kommer noget ind i kammeret?" spørger Steffen Kühnle, Mechanical Designer hos Exyte Technology. Til det formål har ingeniørerne i Renningen udviklet særlige grænseflader, som er forbundet med kammeret. "Det er mere eller mindre det eneste kammer af sin slags på markedet indtil videre."


A gloved hand cleans a surface under UV light, revealing contamination, a process used to maintain cleanliness in controlled environments such as pharmaceuticals and electronics.

I stand til serieproduktion


En anden fordel ved Exytes kammer i forhold til andre scanning-elektronmikroskopsystemer er, at det er meget pladsbesparende. "Vores kammer kræver virkelig kun den plads, som elektronmikroskopet har brug for. Det sparer kunden plads og dermed penge," siger Ankele. Exyte udnyttede dette forspring og påbegyndte serieproduktion af kammeret.
Har du lyst til at bygge en bedre fremtid sammen med os?

Har du lyst til at bygge en bedre fremtid sammen med os?

Vi tilbyder en bred vifte af spændende projekter, hvor du kan skabe fremskridt og sætte dit præg.
Two female Exyte engineers communicate over a document
Rådgivning og planlægning

Ekspertteknik til succes med avancerede anlæg

A man works in a computer program on the design of a facility
Teknik og design

Design af højteknologiske fabrikker til topkvalitet