在半導體產業中，Exyte 以其無塵室和受控環境而聞名。但有時候，光是乾淨是不夠的。有時客戶需要一個連電磁輻射都無法穿透的房間。這就是 Exyte Technology 的專家們開始工作的地方。他們的創意和努力成果，有助於將半導體的技術節點縮小到 5 奈米以下。這將使電子裝置的功能更強大，體積更小巧。
在斯圖加特郊外的 Renningen 鎮，生產大廳中矗立的白色盒子可能是任何東西。超大的冰箱？太空站的模組？還是一台古老的電腦？不完全是。
有了這個應用於掃描電子顯微鏡的 「電磁干擾屏蔽室」（是的，這個名字太長了，從現在開始我們就叫它 「室 」吧），Exyte 的客戶現在可以生產出更小、更快、更高效的完美半導體。Exyte 與客戶共同開發了這個實驗室，從願景到完美的解決方案。
半導體是由多層塗層、曝光和多次蝕刻製成的。其基礎是晶圓：一個由矽製成的圓形扁平圓片。由於半導體極為敏感，其尺寸已小到以奈米為單位（奈米是一毫米的百萬分之一，人類頭髮的粗度在 50,000 到 100,000 奈米之間），因此晶圓必須完美無瑕。「即使是一粒灰塵也可能擾亂整個生產流程」，Exyte Technology 技術產品經理 Fabian Ankele 解釋道。
有了這個應用於掃描電子顯微鏡的 「電磁干擾屏蔽室」（是的，這個名字太長了，從現在開始我們就叫它 「室 」吧），Exyte 的客戶現在可以生產出更小、更快、更高效的完美半導體。Exyte 與客戶共同開發此實驗室，從願景到完美的解決方案。
半導體是由多層塗層、曝光和多次蝕刻製成的。其基礎是晶圓：一個由矽製成的圓形扁平圓片。由於半導體具有極高的敏感度，其尺寸已小到以奈米為單位（奈米是一毫米的百萬分之一，人類頭髮的粗度在 50,000 到 100,000 奈米之間），因此晶圓必須完美無瑕。「即使是一粒灰塵，也可能會擾亂整個生產流程，」Exyte Technology 技術產品經理 Fabian Ankele 解釋道。
半導體是由多層塗層、曝光和多次蝕刻製成的。其基礎是晶圓：一個由矽製成的圓形扁平圓片。由於半導體具有極高的敏感度，其尺寸已小到以奈米為單位（奈米是一毫米的百萬分之一，人類頭髮的粗度在 50,000 到 100,000 奈米之間），因此晶圓必須完美無瑕。「即使是一粒灰塵，也可能會擾亂整個生產流程，」Exyte Technology 技術產品經理 Fabian Ankele 解釋道。
無塵室中的無塵室
那麼如何檢測出如此微小的污染或生產缺陷呢？使用顯微鏡。然而，在奈米範圍內，放大鏡已不再有用，您需要電子顯微鏡。電子顯微鏡使用電子束掃描表面，偵測任何不規則的地方。但就像晶圓一樣，電子顯微鏡非常敏感。它需要一個可控制的環境，在此環境中，電子束不會被任何東西偏轉或干擾。而 Exyte 的實驗室正好能提供這樣的環境。任何不該進入的東西都不會進入。甚至聲波訊號或磁場也無法進入。可以說，實驗室是無塵室中的無塵室。沒有比它更乾淨的了。
「它或多或少是目前市面上唯一的同類型艙室」。
屏蔽室內還有一個真空室。即使晶圓由機器人插入時，真空室仍會保持運作。"這也許是最大的挑戰。Exyte Technology 的機械設計師 Steffen Kühnle 問道：「當有東西進入真空室時，我們該如何維持真空度並防止電磁輻射？為此，Renningen 的工程師們開發了特殊的介面，並將其連接到腔體中。「它或多或少是迄今為止市場上唯一的同類型實驗室」。
可批量生產
與其他掃描電子顯微鏡系統相比，Exyte 的實驗室的另一個優勢是可以節省大量空間。"我們的實驗室只需要電子顯微鏡所需的空間。這節省了客戶的空間，因此也節省了金錢，"Ankele 說。Exyte 憑藉這一領先優勢，開始了該實驗室的批量生產。
