上海 300 mm 晶圓廠

主要功能

• 賀利蒙第一座新建晶圓廠
• 28奈米至14奈米技術
• 總建築面積130,000m²
• 無塵室總面積34,000 m²
• 無塵室等級：ISO 5 & 6 (100 & 1k 級)
• 全面負責無塵室內部、辦公室/實驗室內部、HVAC、機械、無塵室空調系統、製程排氣系統、製程管道、電氣、FMCS 等。