上海 300 毫米晶圆厂

主要功能

HLMC首座绿地晶圆厂  
• 28纳米至14纳米技术  
• 总建筑面积总建筑面积：130,000 平方米²
• 洁净室总面积34,000 m² 
• 洁净室等级：ISO 5 & 6（100 & 1k 级） 
• 洁净室等级：ISO 5 & 6（100 & 1k 级
• 全面负责洁净室内部、办公室/实验室内部、HVAC、机械、洁净室空调系统、工艺排气系统、工艺管道、电气、FMCS 等。