亚太地区(APAC)
上海 300 毫米晶圆厂
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亚太地区(APAC)
上海 300 毫米晶圆厂
描述300 毫米晶圆代工厂
地点: 中国大陆上海中国大陆上海
项目范围EPC for Basebuild
主要功能
- HLMC首座绿地晶圆厂
- 28纳米至14纳米技术
- 总建筑面积总建筑面积:130,000 平方米²
- 洁净室总面积34,000 m²
- 洁净室等级:ISO 5 & 6(100 & 1k 级)
- 洁净室等级:ISO 5 & 6(100 & 1k 级
- 全面负责洁净室内部、办公室/实验室内部、HVAC、机械、洁净室空调系统、工艺排气系统、工艺管道、电气、FMCS 等。
